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TC Wafer

TC Wafer

TC Wafer是直接鑲嵌于晶圓表面的溫度傳感器，可以實現(xiàn)晶圓表面溫度的實時測量。借助于放置在晶圓表面特定位置之間的溫度傳感器，可獲得這些特定位置的真實溫度測量值以及整片晶圓溫度分布；同時也可利用此傳感器來持續(xù)監(jiān)控在熱處理工程中晶圓暫態(tài)溫度變化，例如：升溫，降溫過程及延遲周期等。